不仅可以做电容、电阻,还可以做:电感、MOS管、三极管、二极管等平时消费者看到的成品是这样子
打开黑色外套,内部核心大概长这样子
里面应该会有的典型器件:1. 电容有poly 电容 MOS电容 MOM电容
2. 电阻:有poly电阻diffusion电阻3. 电感4. 二极管5. 三极管IC的制作过程实际上就是在硅衬底上多次反复进行薄膜形成、光刻、掺杂等加工。
具体操作有刻蚀、注入、蒸发、溅射、生长、沉淀、冷却、退火等复杂的工艺。
工艺步骤
1. 洁净工艺
给硅片提供洁净的环境
2. 氧化工艺3. 薄膜工艺
IC的制作过程实际上就是在硅衬底上多次反复进行薄膜形成、光刻、掺杂等加工。
4. 光刻工艺
把(掩膜版上的)图形转移到硅片上
5. 掺杂工艺
掺杂就是将硼、磷、砷等元素加到硅圆片内或多晶硅等薄膜内,改变其杂质浓度,以改变硅片的性质,如从n型变成p型、从p型变成n型,或改变其电阻率。
6. 刻蚀工艺
刻蚀就是利用光刻胶或其它材料作掩蔽层,对没有保护的区域进行腐蚀,最终实现掩膜版图形变成硅片上图形的图形转移。
7. 平坦化工艺
在集成电路工艺发展过程中,随着加工层数的增加,出现了表面的台阶高差越来越大的问题。
一个简单的两个器件组成的反相器,至少经过前面的几个最基本操作,才能实现
此时此刻我面对着村口的一堆沙子有了一些大胆的想法